2024年12月13-14日，“2024真空技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展論壇暨上海市真空學(xué)會(huì)學(xué)術(shù)年會(huì)”在上海交通大學(xué)李政道報(bào)告廳順利舉辦，同期舉行第九屆第九次常務(wù)理事會(huì)暨黨工組會(huì)議/第九屆第四次理事會(huì)/第五屆上海真空科技進(jìn)步獎(jiǎng)?lì)C獎(jiǎng)典禮。

大會(huì)開(kāi)幕

    本次年會(huì)是由上海市真空學(xué)會(huì)主辦，微米納米加工技術(shù)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、上海交通大學(xué)微納電子學(xué)系、上海交通大學(xué)集成電路學(xué)院承辦，華東師范大學(xué)物理與電子科學(xué)學(xué)院、愛(ài)發(fā)科真空技術(shù)（蘇州）有限公司、上海交通大學(xué)材料學(xué)院復(fù)合材料研究所等單位協(xié)辦。來(lái)自學(xué)會(huì)理事、監(jiān)事、團(tuán)體會(huì)員單位及外省市真空同行代表近200名專(zhuān)家學(xué)者與技術(shù)人員出席大會(huì)。

    大會(huì)由上海市真空學(xué)會(huì)理事長(zhǎng)孫卓主持，上海交通大學(xué)集成電路學(xué)院郭小軍常務(wù)副院長(zhǎng)為大會(huì)致辭。郭小軍常務(wù)副院長(zhǎng)在致辭中指出：真空技術(shù)創(chuàng)新包含真空設(shè)備、真空應(yīng)用與工程、真空薄膜、真空冶金材料、真空電子與顯示、真空保鮮與食藥品、真空半導(dǎo)體和真空零部件等領(lǐng)域的最新應(yīng)用進(jìn)展。會(huì)議結(jié)合真空相關(guān)產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展，推進(jìn)真空技術(shù)產(chǎn)學(xué)研合作，推進(jìn)真空技術(shù)與相關(guān)領(lǐng)域的融合發(fā)展，推動(dòng)社會(huì)經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)展。本次會(huì)議的召開(kāi)能夠集思廣益，通過(guò)產(chǎn)學(xué)研各界共同努力，為真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展作出重要貢獻(xiàn)。

頒獎(jiǎng)典禮

   會(huì)上舉行了第五屆上海真空科技進(jìn)步獎(jiǎng)頒獎(jiǎng)典禮，對(duì)獲得真空科技進(jìn)步獎(jiǎng)的12項(xiàng)授獎(jiǎng)項(xiàng)目進(jìn)行了頒獎(jiǎng)，這些項(xiàng)目展示了近二年上海真空領(lǐng)域所取得的最新科技成果，內(nèi)容涉及國(guó)產(chǎn)氧化釩薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、航天器用超軟薄膜真空磁控濺射卷繞鍍膜技術(shù)及應(yīng)用、全自動(dòng)高真空雙源蒸鍍薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、高產(chǎn)能厚鋁PVD濺射機(jī)臺(tái)、高真空精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)等方面，反映了真空科技創(chuàng)新項(xiàng)目在重大工程中的應(yīng)用，也彰顯了上海真空發(fā)展的引領(lǐng)作用。

理事會(huì)

    接著舉行了第九屆第四次理事會(huì)，莫曉亮秘書(shū)長(zhǎng)作了主題為“與時(shí)俱進(jìn)  創(chuàng)新發(fā)展”第九屆理事會(huì)工作報(bào)告和2025年學(xué)會(huì)主要工作設(shè)想。

    楊春生監(jiān)事長(zhǎng)作了“第九屆監(jiān)事會(huì)工作報(bào)告。

    韓建華副理事長(zhǎng)作了“換屆籌備工作情況報(bào)告”和“會(huì)費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)及管理制度”調(diào)整說(shuō)明。

    張哲娟副秘書(shū)長(zhǎng)作了“學(xué)會(huì)章程修改說(shuō)明。孫卓理事長(zhǎng)作了“第十屆理事、監(jiān)事、常務(wù)理事及領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)人選介紹。以上這些報(bào)告經(jīng)理事會(huì)審議通過(guò)。 

大會(huì)報(bào)告

本次論壇共有19場(chǎng)大會(huì)報(bào)告。

    亞太材料科學(xué)院孫卓院士作“納米光電催化材料在環(huán)境凈化領(lǐng)域的應(yīng)用”報(bào)告。

    上海交通大學(xué)劉景全特聘教授作“多維度MEMS 腦機(jī)接口器件與系統(tǒng)”報(bào)告。

    華潤(rùn)微電子有限公司運(yùn)營(yíng)中心孫劍副總經(jīng)理作“半導(dǎo)體制造對(duì)真空設(shè)備的需求”報(bào)告。

    華東師范大學(xué)物理與電子科學(xué)學(xué)院胡志高教授作“范德華材料撓曲電系數(shù)直接測(cè)量的新方法”等四個(gè)特邀報(bào)告。

大會(huì)報(bào)告

    第二天報(bào)告會(huì)上半場(chǎng)由李喜峰教授主持，復(fù)旦大學(xué)光電研究院莫曉亮副院長(zhǎng)作“鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的全真空工藝制備”報(bào)告，愛(ài)發(fā)科真空技術(shù)（蘇州）有限公司俞強(qiáng)總經(jīng)理作“愛(ài)發(fā)科集團(tuán)助力中國(guó)真空發(fā)展”報(bào)告，上海交通大學(xué)材料學(xué)院/復(fù)合材料研究所呂維潔副所長(zhǎng)/研究員作“原位自生鈦基復(fù)合材料的設(shè)計(jì)、制備及應(yīng)用研究”報(bào)告，無(wú)錫尚積半導(dǎo)體科技有限公司王世寬董事長(zhǎng)作《熱敏材料VOx薄膜在MEMS傳感器的應(yīng)用與SJI-SEMI的工藝解決方案》報(bào)告，上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司江旭初副總經(jīng)理作“（超）高真空環(huán)境下精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用研究”報(bào)告和北京天地精儀科技有限公司宋艷霞總經(jīng)理作的“-135度水汽捕集泵在真空鍍膜領(lǐng)域應(yīng)用與展望”報(bào)告。

    報(bào)告會(huì)下半場(chǎng)由呂維潔教授主持，上海裕達(dá)實(shí)業(yè)有限公司景加榮研究員作“面向空間應(yīng)用的質(zhì)譜技術(shù)”報(bào)告，中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所劉衛(wèi)麗研究員作“集成電路芯片平坦化技術(shù)”報(bào)告，江蘇錦立冷鏈科技有限公司孫洪濤總經(jīng)理作“適于自動(dòng)化生產(chǎn)的流體真空冷卻設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”報(bào)告，上海大學(xué)侯雪玲教授作“用于半導(dǎo)體器件的高性能吸氣材料產(chǎn)業(yè)化”報(bào)告，蘇州八匹馬超導(dǎo)科技有限公司湯洪明博士/高級(jí)工程師作“基于智能組網(wǎng)技術(shù)的半導(dǎo)體用低溫泵系統(tǒng)研發(fā)”報(bào)告，中國(guó)科學(xué)院上海高等研究院劉以勇正高作“SHINE項(xiàng)目真空技術(shù)應(yīng)用”報(bào)告，上海大學(xué)李喜峰教授作“雙有源層金屬氧化物薄膜晶體管材料及器件研究”報(bào)告，暢橋真空科技（浙江）有限公司毛天慶銷(xiāo)售副總作“真空腔室的制造與市場(chǎng)前景”報(bào)告和蘇州航宇九天動(dòng)力技術(shù)有限公司鹿啟帥總經(jīng)理作“適用于高潔凈高真空極端環(huán)境的電機(jī)”報(bào)告。來(lái)自產(chǎn)學(xué)研各界的專(zhuān)家學(xué)者分別為大會(huì)帶來(lái)了精彩報(bào)告。參會(huì)代表積極提問(wèn)，就報(bào)告的內(nèi)容和研究方法進(jìn)行了深入的交流與探討。

同期展覽

    除了精彩的專(zhuān)業(yè)報(bào)告外，會(huì)議還吸引了國(guó)內(nèi)外26家知名企業(yè)參展，如愛(ài)發(fā)科、暢橋真空、航宇九天、晨華科技、智鑫航、湖南眾源、卓捷真空、嘉德魯、上海隱冠、惠豐石油、寧波閥門(mén)、鞏華特種油、飛越機(jī)電、北京泰科諾、漢鐘精機(jī)、譚氏真空、盤(pán)古自動(dòng)化、上海優(yōu)尊、繁楓真空、華丞電子、萊庫(kù)半導(dǎo)體、昆山新萊、世紀(jì)久泰、晶維材料、蘇州新大陸、博開(kāi)機(jī)電等。他們?cè)诂F(xiàn)場(chǎng)展示了各自在真空領(lǐng)域應(yīng)用的新技術(shù)、新設(shè)備。

    多家企業(yè)在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行了產(chǎn)品和技術(shù)的推廣，參展單位展示的新技術(shù)、新工藝、新設(shè)備引起了眾多參會(huì)人員的興趣，代表們紛紛駐足參觀洽談，展區(qū)現(xiàn)場(chǎng)互動(dòng)交流熱烈。

會(huì)議影響                                         

    本次論壇與年會(huì)不僅是一次學(xué)術(shù)交流的盛會(huì)，也是真空技術(shù)知識(shí)更新和合作機(jī)會(huì)的盛會(huì)，圍繞論壇主題“真空技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展”，結(jié)合真空相關(guān)產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展，推進(jìn)真空技術(shù)與相關(guān)領(lǐng)域的融合發(fā)展，推動(dòng)社會(huì)經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)展，為真空行業(yè)單位提供了交流合作平臺(tái)，論壇取得了圓滿(mǎn)成功，為服務(wù)上海具有全球影響力的科創(chuàng)中心建設(shè)作出了貢獻(xiàn)。為推動(dòng)中國(guó)真空產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)升級(jí)貢獻(xiàn)了智慧和力量。