在半導(dǎo)體工業(yè)中，真空在半導(dǎo)體制造中非常重要，真空環(huán)境被用于各種制程。由上海市真空學(xué)會主辦、真空半導(dǎo)體專業(yè)委員會協(xié)辦的2024真空半導(dǎo)體裝備及測量技術(shù)培訓(xùn)班于2024.11.10-14日在上海錦榮國際大酒店舉辦。

        培訓(xùn)班開幕式由上海市真空學(xué)會秘書王佳珍主持，此次出席開幕式的老師及嘉賓有復(fù)旦微電子學(xué)院教授盧紅亮老師；上海市真空學(xué)會副理事長韓建華老師；納峰真空鍍膜集團(tuán)公司高級經(jīng)理趙盛福老師；埃地沃茲貿(mào)易（上海）有限公司總工馬震老師；萊寶（天津）國際貿(mào)易有限公司博士龔原正老師；上海漢鐘精機(jī)股份有限公司真空事業(yè)部副理薛軍；復(fù)盛實業(yè)（上海）有限公司銷售總監(jiān)王為等。  

        本次培訓(xùn)班的課程內(nèi)容分別有：《半導(dǎo)體薄膜設(shè)備的應(yīng)用及其國產(chǎn)化》——盧紅亮老師、《化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)及應(yīng)用》——莫曉亮老師、《磁控濺射原理與技術(shù)》——沈杰老師、《電子束蒸發(fā)鍍膜技術(shù)工藝及其應(yīng)用》——朱齊冬老師、《電子束蒸發(fā)源的工作原理》——勞偉民老師、《陰極弧磁過濾技術(shù)及在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的應(yīng)用》——趙盛福老師、《干式泵真空原理和其在半導(dǎo)體成膜領(lǐng)域的應(yīng)用》——馬震老師、《真空測量基礎(chǔ)理論及幾種典型真空計剖析》——周兆劍老師、《真空檢漏技術(shù)》——龔原正老師。

        各位老師們從半導(dǎo)體應(yīng)用到的真空鍍膜設(shè)備的原理到技術(shù)到工藝開展了一系列的討論和講解。并通過現(xiàn)場問答環(huán)節(jié)，使上課氣氛更輕松，大家積極提問，抓住這個近距離和設(shè)備廠家互動的機(jī)會。老師們毫無保留地與學(xué)員交流技術(shù)和心得體會。

        11月14日上午，培訓(xùn)班組織學(xué)員參觀了萊庫(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司，夏西洋總經(jīng)理團(tuán)隊給予熱情的接待，并帶領(lǐng)學(xué)員參觀了工廠環(huán)境，詳細(xì)介紹了公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域的真空腔體的工藝特征及優(yōu)勢，以及航空領(lǐng)域的應(yīng)用。萊庫半導(dǎo)體具備從鋁合金、不銹鋼原材料、真空腔體焊接、精密加工、特種表面處理、千級潔凈室裝配等的全產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢！已經(jīng)成功為國內(nèi)外先進(jìn)半導(dǎo)體、光伏、科研、光學(xué)真空設(shè)備提供摩擦攪拌焊鋁合金腔體，一級潔凈CVD/ PVD傳輸鋁腔體，不銹鋼超真空焊接腔體，噴淋電極板，超精密大型部件的制造服務(wù)商。經(jīng)過參觀和學(xué)習(xí)，讓學(xué)員們感受到作為優(yōu)秀航空產(chǎn)品供應(yīng)商的責(zé)任與擔(dān)當(dāng)。

        下午，培訓(xùn)班參觀了上海辰儀真空技術(shù)有限公司（昆山花橋新廠區(qū)），強(qiáng)小勇總經(jīng)理團(tuán)隊們給予了熱情的接待，辰儀作為上海市真空學(xué)會真空科普工作站重要基地，提供給學(xué)員一個近距離了解真空泵、真空計、檢漏儀操作維護(hù)的平臺，讓學(xué)員更直觀的了解到真空設(shè)備的結(jié)構(gòu)和工作原理，從而提升了對真空系統(tǒng)的認(rèn)知。

        經(jīng)過5天的培訓(xùn)學(xué)習(xí)，學(xué)員們不管在理論上與實踐能力上都得到顯著提高。2025年上海市真空學(xué)會將一如既往的開展更多新穎主題的專題培訓(xùn)班來滿足更多單位對人才和技術(shù)的需求。最后再次感謝為本次培訓(xùn)班精心編寫教材和講課的老師們，感謝學(xué)員們認(rèn)真學(xué)習(xí)、積極互動、大力支持！

上海市真空學(xué)會

2024.11.18