國投創(chuàng)業(yè)日前宣布領(lǐng)投高端分子泵企業(yè)合肥昱馳真空技術(shù)有限公司（以下簡稱“昱馳真空”），支持先進工藝裝備制造國產(chǎn)化，進一步完整半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件投資布局。

▲昱馳真空磁懸浮分子泵（部分型號）

        分子泵是工業(yè)生產(chǎn)獲取真空的核心零部件，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜、真空玻璃、鋰電、光伏、面板等多種高端制造中。隨著工業(yè)領(lǐng)域改造升級、光伏降本和新工藝路線出現(xiàn)、鋰電復(fù)合集流體技術(shù)的要求，作為設(shè)備核心零部件的分子泵面臨快速迭代增長的市場機會。

        昱馳真空主要產(chǎn)品為磁懸浮分子泵和機械軸承分子泵，公司團隊專注于分子泵領(lǐng)域已有二十余年，曾承擔(dān)國家科技部重大儀器儀表專項，并持續(xù)以產(chǎn)學(xué)研融合為牽引，創(chuàng)新研制具有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高真空大抽速磁懸浮復(fù)合分子泵，實現(xiàn)了磁懸浮超高真空分子泵產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，推動我國半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域高端分子泵國產(chǎn)替代。

        昱馳真空是目前國內(nèi)已進入集成電路關(guān)鍵制造設(shè)備——離子注入機供應(yīng)鏈的磁懸浮分子泵生產(chǎn)企業(yè)，具有從理論設(shè)計驗證到機加生產(chǎn)和裝配測試的全流程生產(chǎn)能力。

▲昱馳真空合肥總部總裝研發(fā)測試中心

        在本輪投資的賦能下，昱馳真空將進一步實現(xiàn)磁懸浮分子泵及真空裝備的產(chǎn)業(yè)化和市場開拓，憑借產(chǎn)品大口徑、高抽速、高穩(wěn)定性的優(yōu)勢，加快半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈所需的分子泵設(shè)備生產(chǎn)。同時保持公司產(chǎn)品在高端光學(xué)設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)先性，積極拓展光伏和鋰電等行業(yè)領(lǐng)域。

        昱馳真空是國投創(chuàng)業(yè)在半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件賽道的重要投資布局。真空環(huán)境在現(xiàn)代工業(yè)高端制造中必不可缺，昱馳真空在研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化工程研究及實施方面具有豐富經(jīng)驗，憑借在真空領(lǐng)域多年深入耕耘，補強了國產(chǎn)真空零部件領(lǐng)域的研發(fā)生產(chǎn)空白。