近日，由中山市深中標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量研究中心（簡稱：深中標(biāo)準(zhǔn)中心）協(xié)助中山市高 新技術(shù)企業(yè)中山凱旋真空科技股份有限公司制定的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵評價(jià)規(guī)范》及廣東省半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵標(biāo)準(zhǔn)體系發(fā)布。同時(shí)，受凱旋真空公司委托，深中標(biāo)準(zhǔn)中心對其完成的廣東省重點(diǎn)領(lǐng)域研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目中的一項(xiàng)知識產(chǎn)權(quán)成果《一種冷傘及其制作方法、低溫泵》完成了科技成果評價(jià)。

▲凱旋真空公司科研人員開展半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵性能測試

▲標(biāo)準(zhǔn)封面

▲廣東省真空學(xué)會(huì)關(guān)于發(fā)布《半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵評價(jià)規(guī)范》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)的公告

▲標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)信息

《半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵評價(jià)規(guī)范》

        由廣東省真空學(xué)會(huì)發(fā)布的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵評價(jià)規(guī)范》，規(guī)定了半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵評價(jià)的分類、基本要求、評價(jià)要求、評價(jià)方法、評價(jià)結(jié)果等內(nèi)容，為半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵評價(jià)提供工作依據(jù)。將促進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵設(shè)備性能評價(jià)規(guī)范化，推動(dòng)低溫泵制造產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步發(fā)展，為國產(chǎn)低溫泵產(chǎn)品擴(kuò)大國內(nèi)市場、進(jìn)軍國際市場提供技術(shù)支撐。

▲廣東省半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵標(biāo)準(zhǔn)體系（框架圖）

▲廣東省半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵標(biāo)準(zhǔn)體系（標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)計(jì)表）

廣東省半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵標(biāo)準(zhǔn)體系

        廣東省半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵標(biāo)準(zhǔn)體系從半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵現(xiàn)狀出發(fā)，以產(chǎn)品生產(chǎn)序列為導(dǎo)向，建立了廣東省半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵標(biāo)準(zhǔn)體系，形成了體系框架、明細(xì)表和編制說明。該標(biāo)準(zhǔn)體系適用于半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵制造企業(yè)的技術(shù)研發(fā)、裝備制造、檢測、運(yùn)輸和售后服務(wù)等。體系的發(fā)布實(shí)施，將為半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵評價(jià)體系建立提供依據(jù)，有利于提升半導(dǎo)體設(shè)備用低溫泵制造企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化水平，助力推動(dòng)低溫泵制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

《一種冷傘及其制作方法、低溫泵》

        《一種冷傘及其制作方法、低溫泵》科技成果屬于低溫泵技術(shù)和分形結(jié)構(gòu)熱傳輸設(shè)計(jì)領(lǐng)域，將分形技術(shù)引用到低溫泵中，提出了一種分形樹狀結(jié)構(gòu)冷傘陣列設(shè)計(jì)。改進(jìn)優(yōu)化了低溫泵重要部件冷傘陣列，解決了傳統(tǒng)低溫泵冷凝板（15K冷陣）狀疊層式結(jié)構(gòu)表面積小、冷量傳輸慢且分布不均勻的技術(shù)問題。該低溫泵分形樹狀冷傘技術(shù)填補(bǔ)了國內(nèi)外空白，具有較強(qiáng)創(chuàng)新性和先進(jìn)性。

        中山市深中標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量研究中心以標(biāo)準(zhǔn)化為基礎(chǔ)，標(biāo)準(zhǔn)與知識產(chǎn)權(quán)融合發(fā)展為理念，持續(xù)為我市戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)相關(guān)企業(yè)提供各類技術(shù)服務(wù)，加快推進(jìn)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)體系形成及發(fā)展，為我市“新十大艦隊(duì)”產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展注入動(dòng)能。