2024年12月7日上午，廣東省真空學(xué)會(huì)在中山留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)園（新園）組織行業(yè)技術(shù)專家對(duì)長(zhǎng)春理工大學(xué)中山研究院等單位完成的科技成果“高精密寬光譜光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)”進(jìn)行評(píng)價(jià)。專家組認(rèn)真審閱成果完成單位提供的評(píng)價(jià)材料，聽(tīng)取成果開(kāi)發(fā)工作報(bào)告，現(xiàn)場(chǎng)考察成果實(shí)物機(jī)臺(tái)功能展示，經(jīng)質(zhì)詢和討論，一致認(rèn)為該成果填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

        高精密寬光譜光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)是高精密光學(xué)鍍膜設(shè)備的核心部件，涉及半導(dǎo)體、集成電路、紅外安防、生物醫(yī)學(xué)工程、紅外軍工和航空航天等敏感領(lǐng)域，受國(guó)外限制進(jìn)口，屬于典型的“卡脖子”技術(shù)。

        該成果主要研制一種可見(jiàn)與紅外寬光譜高精密光學(xué)膜厚直接監(jiān)控系統(tǒng)，該系統(tǒng)由特殊光源、光譜分析裝置、鎖相放大器、探測(cè)系統(tǒng)組成，通過(guò)濾波算法實(shí)現(xiàn)直接監(jiān)控薄膜的光學(xué)厚度。該系統(tǒng)是光學(xué)精密鍍膜設(shè)備的控制核心，直接決定薄膜器件的光譜精度。當(dāng)前，在國(guó)內(nèi)只有在進(jìn)口的高端設(shè)備上才會(huì)才配有可見(jiàn)近紅外光控系統(tǒng)，國(guó)產(chǎn)設(shè)備由于進(jìn)口限制，均沒(méi)有配備紅外光控系統(tǒng)，且進(jìn)口光控系統(tǒng)價(jià)格很高。寬光譜光學(xué)膜厚監(jiān)控技術(shù)在國(guó)內(nèi)還處于萌芽階段，目前國(guó)內(nèi)在應(yīng)用的相關(guān)設(shè)備都是國(guó)外進(jìn)口。尤其近年來(lái)紅外光學(xué)薄膜需求爆發(fā)式增長(zhǎng)，國(guó)內(nèi)每年光學(xué)鍍膜設(shè)備的出貨量 300+臺(tái)，需要進(jìn)行高端鍍膜的設(shè)備超過(guò) 30%，這一比例還在持續(xù)增長(zhǎng)，鍍膜設(shè)備的存量約 5000+ 臺(tái)，有將近 30%以上的設(shè)備可以通過(guò)加裝寬光譜光學(xué)膜厚監(jiān)控系統(tǒng)使設(shè)備的性能提高一個(gè)等級(jí)，因此成果具有良好的市場(chǎng)應(yīng)用前景，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)銷售十多臺(tái)套。