5月19日，中科科儀磁懸浮分子泵技術及半導體行業(yè)應用線上直播成功舉辦。直播間內干貨滿滿，精彩紛呈，讓我們一起來回顧一下吧！

        本次線上直播設置了答疑環(huán)節(jié)，主講人為每一位小伙伴耐心解答了直播過程中的問題，小編特將直播間的問答內容整理如下，以供大家參考：

1、油潤滑、脂潤滑、磁懸浮三種系列的分子泵各自的優(yōu)劣勢是什么？
        油潤滑軸承分子泵結構簡單、散熱良好，但只能豎直安裝，且不能獲得完全潔凈的真空。脂潤滑軸承分子泵，可以實現多角度安裝，方便客戶使用，但仍然不能獲得完全潔凈的真空。磁懸浮軸承分子泵采用非接觸式磁懸浮軸承，可以實現多角度安裝，能獲得完全清潔無油的真空，具有轉速高、壽命長等特點，磁懸浮軸承分子泵是分子泵未來發(fā)展的趨勢。

2、磁懸浮分子泵對使用的電磁等環(huán)境有什么具體要求？

        磁懸浮分子泵使用時要求周圍磁場小于30高斯，輻射小于100000拉德。

3、分子泵在5Pa左右真空度下停機時，可以將分子泵高閥和前級閥全關，讓分子泵在封閉的管道中自行停機嗎？

        可以，分子泵可以在粗真空情況下自行停機。

4、磁懸浮分子泵為什么需要加熱模塊，這個是出于什么去考慮的？

        含加熱模塊的磁懸浮分子泵主要用于半導體制造設備，在集成電路刻蝕等工藝過程中，部分工藝氣體容易冷卻凝結，附著在分子泵轉子及內壁，造成分子泵轉子不平衡量增大或抽氣通道阻塞，影響分子泵的穩(wěn)定運行。加上加熱模塊可以適當提高泵體溫度，降低工藝氣體凝結，提高分子泵穩(wěn)定性及壽命。

5、磁懸浮分子泵的泵體烘烤溫度最高可以達到多少？

        為了提高腔室真空度，可對腔室進行烘烤，溫度約為200℃左右即可，同時對腔室與分子泵接口進行烘烤，溫度不高于100℃，一般不對泵體本身進行烘烤。

6、分子泵有壽命嗎？

        機械軸承分子泵和磁懸浮分子泵都是有壽命的，一般由分子泵最易損壞的部件決定。機械軸承分子泵的壽命受限于軸承壽命，所以磁懸浮分子泵壽命遠高于機械軸承分子泵，受限于泵內電氣元件的壽命。

7、中科科儀磁懸浮分子泵在光學鍍膜、光伏發(fā)電等行業(yè)發(fā)展的怎么樣？

        中科科儀磁懸浮分子泵已經在鍍膜行業(yè)、光伏發(fā)電、LowE玻璃等產線中大批量使用。

8、升速過程中的渦輪葉片模態(tài)是集中的嗎？

        分子泵在升速過程中的渦輪葉片模態(tài)集中在低速的幾個區(qū)域，各型號分子泵的模態(tài)有一定的差異。

9、渦輪葉片模態(tài)是如何測得的？

        分子泵渦輪葉片模態(tài)一般通過仿真及試驗的方法測得。 

10、磁懸浮分子泵可以實現變頻工作狀態(tài)中調整轉速嗎？

        磁懸浮分子泵可以實現在20%—100%額定轉速范圍內無級調整，用戶可根據具體需求聯系中科科儀銷售人員進行定制。

11、我們的磁懸浮分子泵如果很長時間沒有用了，該如何維護和保養(yǎng)呢？

        磁懸浮分子泵長期停用時，應先將分子泵充滿干燥的惰性保護氣體，如氮氣、氬氣等，保護泵內零部件和電子器件，然后密封泵的入口、排氣口、充氣口等，再將分子泵及控制器整體包封，保持干燥，入庫存放。一般來說，磁懸浮分子泵長期放置3個月以上重新使用時，需對分子泵進行轉子檢查操作。 

12、我們剛剛購買了磁懸浮分子泵，初次使用安裝的時候有什么需要注意的嗎？

        除耐腐蝕型號磁懸浮分子泵外，其它任何磁懸浮分子泵都不能用于抽除腐蝕性氣體；耐腐蝕型號磁懸浮分子泵在抽除腐蝕性氣體時，必須給分子泵的保護氣體入口連續(xù)通惰性保護氣體，如氮氣等。

13、如何連接冷卻水路呢？

        冷卻水接口采用快插式接口，用外徑10mm的塑料軟管與冷卻水源連接，右側水嘴進水、左側水嘴出水。冷卻水要求清潔、酸堿中性、低沉淀，水壓約0.1～0.2MPa，水溫20～25℃，流量≧1升/分鐘，若分子泵出現冷凝水時，應適當降低分子泵工作的環(huán)境溫度。
        一體磁懸浮分子泵有兩路冷卻水管路，分子泵和控制器均必須常通水冷卻。特殊情況下，如加熱時需要配置水閥，并自動控制泵的溫度。

14、在磁懸浮分子泵的使用過程中，如果停電了，我們該采取什么樣的措施呢？

        發(fā)生停電時，不要切斷供電電源，應在排除停電原因后盡快恢復供電。因為停電后，電機會將轉子機械能轉換為磁懸浮軸承的耗能，當轉子機械能降低一定程度后，不足以維持磁懸浮軸承耗能，此時轉子會失去懸浮能力而發(fā)生失穩(wěn)跌落，可能會導致泵的損壞。

15、分子泵的啟動壓強怎么計算呢？

        設被抽系統為V[m3]，前級泵抽速為Sr[m3/h]。
        當Sr/V＞40[h-1]時，分子泵和前級泵可同時啟動，此時分子泵相當于一個阻流閥。
        當Sr/V≤40[h-1]時，被抽容積相對較大，應該先啟動前級泵，待系統壓強P≤5Pa時，再啟動分子泵。

16、可以簡單的介紹一下磁懸浮分子泵RS232/485通信嗎？

        中科科儀系列磁懸浮分子泵控制器RS232/485通信采用的是Modbus通訊協議，Modbus是一種串行、異步通訊協議。此協議定義了一個驅動控制器能識別使用的消息結構，可以通過多種網絡傳輸。

17、在工藝過程中，如果振動比較大，可以使用磁懸浮分子泵嗎？

        如果確需在有震動的場合使用時，需要加裝隔振器，以減少振動對一體磁懸浮分子泵造成的損壞。

18、磁懸浮分子泵在使用的過程當中出現故障時，應該如何拆卸、維修？

        當泵出現故障必須拆卸時，應：
        (1)確定泵處在停機狀態(tài)，內外氣壓平衡，并切斷電源和拆卸連接線纜。
        (2)如果泵抽除氣體是腐蝕性氣體，必須確認真空腔、泵內、前級管道內腐蝕性氣體已被充分沖洗干凈，泵內沉積物同樣對人體有害，必要時，拆卸人員應戴防毒面具和手套。分子泵卸下后，應盡快除去沉積物，以防止沉積物與潮濕空氣反應生成揮發(fā)物或對泵有腐蝕的酸、堿等。
        (3)泵卸下后，立即用潔凈的塑料袋密封包裝并封口，保存要求參照磁懸浮分子泵說明書中長期停用時的維護、保養(yǎng)及貯存條件。
        (4)如需返廠維護，還需退回相應部件及配件。

19、CV/CS型磁懸浮分子泵都是水冷嗎？

        是的，CV/CS型磁懸浮分子泵的冷卻方式都是水冷。

20、磁懸浮分子泵產品的發(fā)展前景怎么樣？

        整體來講，目前我國磁懸浮分子泵產品的發(fā)展前景是非?？捎^的。與國外廠商相比，中科科儀作為國內分子泵龍頭企業(yè)，經過多年的研發(fā)、創(chuàng)新及技術積累，產品性能已經可以與國外企業(yè)同類優(yōu)勢產品媲美，而且高性價比競爭優(yōu)勢也逐漸凸顯。未來，搭乘我國國產化政策紅利，與時俱進，還會有更大的發(fā)展空間。
 
        最后，感謝各位參加中科科儀磁懸浮分子泵技術及半導體行業(yè)應用直播。后續(xù)我們將推出更多有趣、有料的線上直播活動，干貨滿滿，驚喜多多，敬請期待！