2020年6月27–29日，半導(dǎo)體及平板顯示行業(yè)的首展——SEMICON/FPD China2020在上海新國際博覽中心成功舉行。
作為 Busch普旭今年在全球參加的第一個(gè)展會(huì)，Busch普旭不僅以結(jié)合全新CI設(shè)計(jì)的展臺(tái)亮相。同時(shí)，也在現(xiàn)場(chǎng)向大家展示了全新適用于高溫制程工藝的真空解決方案。

        Busch普旭2020年全新推出的COBRA DS1200A干式螺桿真空泵適用于氣體溫度超過250℃的嚴(yán)苛工藝。
        ·高性能：先進(jìn)的螺桿設(shè)計(jì)、卓越的運(yùn)行品質(zhì)、集成的羅茨泵，完美適用于太陽能、平板和半導(dǎo)體應(yīng)用，以及需要高溫氣體的嚴(yán)苛工藝，如刻蝕和化學(xué)氣相沉積，極佳的粉末處理能力配合tantal涂層的螺桿使其更適用于眾多嚴(yán)苛應(yīng)用
        ·高效：成本低、維護(hù)工作量少、保養(yǎng)周期及正常運(yùn)行時(shí)間長、抽氫能力強(qiáng)、能耗低、可變溫控制
        ·結(jié)構(gòu)緊湊：一體化設(shè)計(jì)，罐式電機(jī)、前級(jí)泵和羅茨泵直接安裝在緊湊的基架上，振動(dòng)值低

        同時(shí)，對(duì)于極具挑戰(zhàn)性工藝中的低溫制程，Busch普旭全新的COBRA BC 1200 A干式螺桿真空泵也可以在氣體溫度低于 80℃ 的工藝中游刃有余。
        ·高效：成本效益高、正常運(yùn)行時(shí)間長、節(jié)能
        ·維護(hù)簡易：先進(jìn)的螺桿設(shè)計(jì)，采用無油和無接觸技術(shù)，維護(hù)間隔長
        · 靜音：噪音等級(jí)＜62 dB(A)

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